新品发布：支持数据驱动开发的两款FE-SEM隆重上市

发布日期：2021-12-13 作者：谱赛斯点击：

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强化自动获取大量数据功能

实现高效率观察

日立高新技术公司（以下简称日立高新技术）此次推出两款FE-SEM^*1“SU8600”和“SU8700”（以下简称此系列产品），这两种型号配置自动获取大量数据的功能。

FE-SEM是用于观察、测量和分析样品细微结构的场发射扫描电子显微镜，因此被广泛用于半导体、生命科学和材料研发等领域。未来，数据驱动开发的进步需要庞大的数据支撑，为此，日立高新技术特推出此系列产品，支持短时间内获取大量数据，减轻用户的负担。

*1. FE-SEM：Field Emission Scanning Electron Microscope（场发射扫描电子显微镜）

SU8600 SU8700.jpg

场发射扫描电子显微镜 SU8600(左)/SU8700(右)

· 产品开发背景 ·

FE-SEM获得的图像分辨率高，信息丰富，样品处理相对简单，并且它可以观察、测量并分析样品的细微结构，因此被广泛应用于纳米技术、半导体、电子器件、生命科学、材料等领域。

近年来，以Materials Integration^*2为代表，其应用领域及用途在不断扩展，短时间内获取大量数据，减轻作业负荷成为市场的一大需求。为满足这一需求，此次特推出SU8600和SU8700，这两种型号是在日立不断改进与沉淀的具有高分辨性能的FE-SEM基础上，进一步优化了自动化功能，以快速获取大量数据。

*2. Materials Integration：是一项综合性材料研发技术，以缩短材料研发周期为目的，整合运用了理论/实验/数据分析/模拟/数据库。

· 产品特点 ·

在细微结构分析中，SU8600可以实现低加速电压观察，对高分子等易受电子束照射影响的材料进行高分辨观察。SU8700可配置各种分析附件，适用于从低加速观察到高束流的EBSD^*3分析，支持陶瓷、金属等不同材料的解析。

此系列产品主要具有以下三大特点：

1.支持自动获取数据

在FE-SEM的观察和分析中，需要根据测量样品与需求调整观察条件。调整所需时间的长短取决于用户的操作熟练度，这是造成数据质量与效率差异的因素之一。此系列产品标配自动调整功能，可避免人为操作导致的差异。

此外，随着仪器性能的提升，需要获取的数据种类与数量也在增加，手动获取各种大量数据会大大增加用户的作业负担。此系列产品可选配“EM Flow Creator”，用户可根据自身需求设定条件，自动获取数据，这对于未来通过获取大量数据实现数据驱动开发起到重要作用。

2．增加获取信息的种类与数量

通过SEM能够收集到多种信号，且此系列产品最多可以同时显示和存储6个检测器的信号。在减少图像获取次数的同时能够获取多种信息。

此外，为一次性获取大量信息，最大像素扩展到了40,960 x 30,720^*5，是当前型号^*4的64倍。利用这一功能，可凭借一张数据图像有效评估多处局部的细微结构

3．增强信号检测能力

SU8600开发了多个新型选配检测器，加强了对凹凸信息、发光信息的检测能力。此外，还提高了背散射电子信号检测的响应速度。

SU8700的样品仓设计巧妙，可使用短WD^*6进行EDS^*7分析，通过提高EDS分析的空间分辨率，能够实现更微小部位的分析。

*3. EBSD：Electron Back Scatter Diffraction（电子背散射衍射）。一种用于晶体样品取向分析的方法。
*4. 与Regulus系列FE-SEM对比

*5. 选配，可扩展

*6. WD：Working Distance. （工作距离：SEM物镜与样品间的距离）

*7. EDS：Energy Dispersive X-ray Spectroscopy（能谱仪）

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