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XRF剖析仪有多种装备可供挑选:探测器类型、光学系统类型、自动化装备,乃至是台式或手持式剖析仪。在本文中,我们将探讨运用XRF丈量电子元件镀层所存在的应战,并评论在出产环境中实现牢靠和快速丈量的最佳装备。
外形要素:手持式还是台式XRF剖析仪?
今日,手持式和台式剖析仪均可在简直一切类型的基材上丈量0.001-50μm(0.05-2000 微英寸)的金属镀层厚度。两种装备该挑选哪一个更取决于实用性,而不是功能。假如您丈量的是十分大的部件,有相对大的镀层面积,肉眼很容易看到(而且能够用手轻松地将剖析仪抵近到位),那么手持式剖析仪是最合适的。
但是,许多电子元件彻底不是这样。这些电子元件十分微小,需求经过显微镜和照相机设备定位,并运用精细载物台和专用光学器材,来保证准确地剖析正确的特定测点。关于电子元件来说,台式剖析仪简直总是人们挑选的类型。
决定要素:元件的尺度和被测特定测点的尺度。您能把您的元件带到实验室吗?假如不能的话,那么您需求一台手持式剖析仪。您需求丈量小于1mm的面积吗?假如是的话,那么您需求一台台式剖析仪。
光圈类型:准直器还是毛细管光学组织?
剖析仪的光圈将发生的x射线引导并聚集到样品外表。发生的光斑必须小于您需求丈量的零件,您挑选的光学器材将由您的零件尺度决定。
XRF剖析仪通常配有两种类型光圈中的一种:准直器或毛细管光学组织。准直器是一个有孔的金属块,一部分X射线信号经过孔到达样品。关于丈量100µm和更大的零件,这是一个不错的挑选。毛细管光学组织运用特殊的玻璃毛细管搜集简直一切的X射线信号,并将其聚集到一个十分小的点。这使您能够丈量小于50 µm的零件。与准直器装备比较,由于运用了更高份额的X射线,因而这项技能对较薄的镀层也有更好的精度。
决定要素:光斑大小。关于小于50µm的零件,您需求毛细管光学组织,若大于此尺度,准直器装备可能会更合适。
探测器类型:份额计数器还是硅漂移探测器?
XRF剖析仪中主要有两种类型的探测器:份额计数器和根据半导体的探测器,硅漂移探测器(SDD)是最常见的半导体探测器。决定哪种技能最适合您的应用可能很扎手,因为这两种技能在不同的情况下均有各自的优势。
份额计数器由惰性气体封装于金属圆柱体中构成,当惰性气体遭到X射线炮击时会发生电离。它们对像锡或银这样的高能量元素有很好的灵敏度,关于元素较少的简略剖析十分有用。
SDD是半导体器材,当遭到X射线炮击时会发生特定数量的电荷。当您对样品中的几种元素感兴趣时,或者在检测低能量元素,如磷时,它们能供给更好的分辨率。
下图说明了同一样品中份额计数器和SDD的输出差异。红色峰表明SDD输出,灰色光谱表明份额计数器。
决定要素:这很杂乱,但假如您需求丈量多种不同的元素或十分薄或杂乱的镀层,那么SDD是最佳挑选。
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