深圳市谱赛斯科技有限公司
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场发射扫描电镜SU5000产品特点:
1、二次电子分辨率:2.0nm at 1kv
2、高效PD-BSD,超强的低加速电压性能,低至100V成像
3、大束流(>200nA)便于高效微区分析
4、具有优异的低真空(10-300Pa)成像性能,配备高灵敏度低真空探测器(UVD)
5、开仓式快速简单换样(最大样品尺寸:ф200mm*80mmH)
6、微区分析:EDS,WDS,EBSD等
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